静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析

• 作者: 孙玉国
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 工学
• 关键词: 振动与波 机械滤波器 偏置电压 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 实验与测试技术
• 页码范围: 134-135
• 页数: 2页
• 分类号: TN731
• 字数: 1083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1355.2007.06.039

摘要

静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用.从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析.分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V0(t)与梳状振子振动速度成正比.谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量.直流偏置电压Vp可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙玉国		4	15	3.0	3.0