CVD自支撑金刚石厚膜的氧化动力学研究

• 作者: 刘敬明 吕反修
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 高温氧化 氧化动力学
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TG174.45
• 字数: 2956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2007.04.003

摘要

为了了解直流等离子喷射CVD自支撑金刚石膜高温氧化机理,利用热失重的方法研究了金刚石膜在不同温度、不同氧浓度条件下的氧化反应.结果表明:CVD金刚石膜氧化反应中的反应指数大约为0.63,氧化反应的激活能为220kJ/mol.通过X-Ray和Raman分析可知,CVD金刚石膜的氧化经历3个过程:1)金刚石膜表面氢的解吸和氧的吸附;2)金刚石与氧发生化学反应;3)金刚石氧化产物(CO、CO2)的解吸.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	刘敬明		10	29	3.0	5.0