Pd掺杂对SnO2气敏性能的影响

• 作者: 曾宇平 高兆芬
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 电导 气敏 SnO2 灵敏度
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.10.010

摘要

在气体传感器中金属Pd被广泛用作的催化剂,利用直流溅射和浆料涂覆的方法制备出SnO2气敏元件,在氧气氛中通过直流溅射对SnO2元件进行Pd掺杂,并对用不同制备方法所得元件的电导、灵敏度等进行比较.结果表明:Pd掺杂降低了元件的电导,并使得电导峰出现的位置从460 ℃转移到260 ℃和180 ℃,这和样品的制备方法有关.Pd掺杂有利于提高SnO2元件的灵敏度,特别在低温区(100～250 ℃)对不同气体的灵敏度有几十倍提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾宇平	中国科学院上海硅酸盐研究所	19	176	8.0	13.0
2	高兆芬	上饶师范学院化学系	25	109	6.0	9.0