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摘要:
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32nm CMOS工艺技术挑战
CMOS技术
32nm技术节点
迁移率增强
金属栅/高k栅介质
超低k介质
新常态下林业产业发展面临的形势与挑战
新常态
林业产业
形式
挑战
当前重庆经济发展面临的机遇与挑战
重庆经济
外贸
金融
旅游
国企
政府
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 45和32 nm面临新的刻蚀挑战
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 43-46
页数 4页 分类号
字数 4402字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.04.013
五维指标
传播情况
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引文网络
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2008(1)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
论文1v1指导