大孔径差分真空系统中充气气流效应分析

• 作者: 侯生军 张军辉 张喜平 张素平 杨晓天 胡振军 蒙峻 赵玉刚
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 充气气流效应 大孔径 差分真空系统 差分比 分子流
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 真空获得与系统
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TB753|TB71
• 字数: 2392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.014

摘要

分析了在分子流态下差分真空系统中充气气流效应的存在,通过引入了差分比,定量计算出充气气流效应对差分真空系统的影响.