闭空间气源对器件真空性能的影响

• 作者: 成永东 李明光
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电真空器件 模型 漏气 压强
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TN105
• 字数: 2445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.02.009

摘要

在电真空器件的设计制造过程中,可能会遇到一种缺陷--管壁中闭空间气源,闭空间中的气体将通过微漏孔对器件真空性能产生重大影响.针对这一缺陷,建立了几种可能状态下器件的真空模型,指出了解决该缺陷的方法和依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成永东	电子科技大学物理电子学院	2	3	1.0	1.0
2	李明光	电子科技大学物理电子学院	2	3	1.0	1.0