ZnO薄膜的结构与光学性能研究

• 作者: 张惠 李斌斌 楼晓波 沈鸿烈
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 ZnO薄膜 透射光谱 sol-gel法 光学带隙
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TQ132.41
• 字数: 2837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.10.003

摘要

采用sol-gel法在石英衬底上制备了ZnO薄膜,通过改变溶胶浓度、涂敷层数及退火温度,研究了ZnO薄膜的形貌、结构性能及光学性能.结果表明,薄膜具有六方纤锌矿结构,表面均匀致密,晶粒大小在25～35 nm之间,Zn含量为0.8 mol/L的溶胶经旋涂并在500 ℃下退火1 h后可获得最高的可见光透射率,平均透射率约为94%.获得的ZnO薄膜的光学带隙在3.27～3.29 eV之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈鸿烈	南京航空航天大学材料科学与技术学院	93	264	9.0	10.0
2	李斌斌	南京航空航天大学材料科学与技术学院	23	157	8.0	10.0
3	楼晓波	南京航空航天大学材料科学与技术学院	2	21	2.0	2.0
4	张惠	南京航空航天大学材料科学与技术学院	3	31	3.0	3.0