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摘要:
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飞行试验
实时监控
数据分发服务
数据融合
WPF
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于控制清洗和刻蚀溶液的实时监控技术
来源期刊 集成电路应用 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2007,(10) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 40-44
页数 5页 分类号 TN4
字数 3358字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.10.014
五维指标
传播情况
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引文网络
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1997(1)
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2007(0)
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2010(1)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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