电真空器件残气质谱分析和贮存寿命的快速测试研究

• 作者: 崔云康 张晓兵 毛福明 狄云松 王金婵 肖梅 雷威
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电真空器件 残余气体 质谱分析 特性
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 工业研究与应用
• 页码范围: 80-83
• 页数: 4页
• 分类号: TN107
• 字数: 3017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.01.018

摘要

电真空器件内的残气压强是制管和管子工作过程中管内吸气剂材料吸气后形成的平衡压强,器件击破后质谱分析室本底气体会被吸气剂吸收.因质谱分析室放出的本底气体量一般远小于吸气剂在器件内原吸收的气体量,故器件内的残气压强的新平衡值增量可以忽略,分析室本底不会影响正确的分析结果;大气漏入管内后只表现出该管内惰性气体氩的积累;据此,我们提出了充氩法贮存寿命的快速测试方法.只有吸气剂失效或吸气饱和后管内残气质谱图才反映出漏入的大气成份或分析室本底气体干扰的特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛福明	东南大学电子科学与工程学院	12	38	3.0	5.0
2	雷威	东南大学电子科学与工程学院	89	538	12.0	18.0
3	张晓兵	东南大学电子科学与工程学院	87	746	13.0	24.0
4	狄云松	东南大学电子科学与工程学院	15	95	6.0	9.0
5	肖梅	东南大学电子科学与工程学院	11	83	5.0	9.0
6	崔云康	东南大学电子科学与工程学院	23	81	5.0	8.0
10	王金婵	东南大学电子科学与工程学院	4	37	3.0	4.0