微机械气流式加速度计敏感机理的有限元分析

• 作者: 吕耀杰 朴林华 王义
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 有限元法 微机械 加速度计 对流场 敏感机理
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与仿真
• 页码范围: 64-66,73
• 页数: 4页
• 分类号: TN37
• 字数: 1838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.10.019

摘要

揭示了微机械气流式加速度计的敏感机理.采用有限元方法,分析了在不同加速度输入时敏感元件内的流场分布.结果表明,无加速度输入时,两热敏电阻处的气流速度相等,两热敏电阻上的电流相等,电桥输出为0;有加速度输入时,两热敏电阻处的气流速度之差随加速度变化而变化,引起两热敏电阻上电流之差也随之变化,电桥输出一个对应于加速度的电压.所述的方法为微机械气流式加速度计的结构优化设计提供了简单有效的途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朴林华	北京信息工程学院传感技术研究中心	64	172	7.0	10.0
2	王义	北京信息工程学院传感技术研究中心	5	13	2.0	3.0
3	吕耀杰	北京信息工程学院传感技术研究中心	3	8	2.0	2.0