动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜的X射线光电子能谱与俄歇电子能谱研究

• 作者: 代海洋 王治安 黄宁康
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化铬薄膜 动态离子束混合技术 X射线光电子能谱 俄歇电子能谱
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 419-423
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.5
• 字数: 3769字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2007.05.006

摘要

本文介绍的动态离子束混合技术制备氧化铬薄膜系在不锈钢基体上进行1keV氩离子束溅射沉积铬(同时通入一定量的O),并用100 keV的氩离子束或氧离子束轰击该样品.对两种离子束轰击形成的氧化铬薄膜进行了X射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)和俄歇电子能谱(Auger electron spectroscopy,AES)的分析研究.发现Ar+离子束制备的氧化铬薄膜主要是Cr2O3化合物,而O+离子束制备的氧化铬薄膜含有其它价态的铬氧化物.Ar+离子束制备氧化铬薄膜的污染碳少于O+离子束制备.与O+离子束制备相比较,相同能量的Ar+离子束轰击更有利于提高沉积的Cr原子与周围O2的反应性;Ar+离子束制备的氧化铬薄膜过渡层的厚1/3左右,较厚的过渡层显示了制备的薄膜具有较好的附着力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代海洋	辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所	3	6	2.0	2.0
2	王治安	辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所	2	4	1.0	2.0
3	黄宁康	辐射物理和技术教育部重点实验室四川大学原子核科学技术研究所	5	37	3.0	5.0