湿法表面粗化技术初探

• 作者: 刘娉娉 柯志杰 王立达 罗群
• 来源期刊: 中国照明
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗化 湿法腐蚀 GAN基LED 量子效率
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 91-93
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.23

摘要

本文采用热H2PO4湿法腐蚀方法对GaN表面进行粗化处理，比较了不同腐蚀条件对表面形貌的影响，并对最终器件光电性能进行测量，分析结果显示经过粗化的GaN基LED芯片，亮度增加达24％以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立达		1	0	0.0	0.0
2	刘娉娉		2	7	1.0	2.0
3	罗群		1	0	0.0	0.0
4	柯志杰		4	7	1.0	2.0