溅射离子泵开关电源的设计

• 作者: 张余进 邱实
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 开关电源 溅射离子泵 负阻特性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 真空电源
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TB752|TP17
• 字数: 2543字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.05.021

摘要

针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理.在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源.该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点.