宽电压A/D、D/A转换器用BiCMOS工艺技术研究

• 作者: 刘勇 刘玉奎 高峰
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: A/D转换器 D/A转换器 BiCMOS JFET LDD NMOS LDD PMOS
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN433
• 字数: 2393字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3365.2007.01.006

摘要

研究和开发了一种用于宽电压A/D、D/A转换器的BiCMOS工艺.利用相关晶体管原理和公式,计算出工艺参数,再用TSUPREM4和MEDICI软件,进行工艺和器件仿真,得出精确的工艺参数.流片后对所有器件进行了测试,结果表明,开发的工艺完全符合设计要求.用此工艺制造的A/D、D/A转换器产品,其性能符合设计指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高峰	重庆大学光电工程学院	33	73	5.0	7.0
4	刘玉奎		9	60	3.0	7.0
6	刘勇		8	16	3.0	3.0