卷绕式海绵材料真空磁控溅射镀膜设备的研制

• 作者: 孙清 张君薇 池世春 魏海波
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 泡沫镍 磁控溅射 海绵 卷绕系统
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.04.007

摘要

本文介绍了海绵卷绕真空磁控溅射镀膜设备的结构及其特点,采用独特的传动机构,靶极结构及控制方式实现了海绵连续卷绕真空磁控溅射镀膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏海波		22	143	7.0	11.0
2	孙清	沈阳药科大学高等职业技术学院	18	103	6.0	9.0
3	池世春	中科院沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心	3	12	2.0	3.0
4	张君薇		13	93	6.0	9.0