TiO2-WO3复合薄膜型气敏传感器性质研究

• 作者: 冯庆 刘高斌 王万录 王新强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏传感器 电子束蒸发 TiO2 WO3 n型金属氧化物
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 278-281
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.04.002

摘要

二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器.本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2h.通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试.实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性.本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王万录	重庆大学数理学院	109	849	16.0	22.0
2	王新强	重庆大学数理学院	46	305	11.0	12.0
3	刘高斌	重庆大学数理学院	37	310	12.0	15.0
4	冯庆	重庆大学数理学院	16	184	9.0	13.0