基于V/F变换下的数字相敏检测监控光学膜厚

• 作者: 何长涛 姚远程 赵汝进 马孜
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 相敏检测 光学监控
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 77-78
• 页数: 2页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1997字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2007.03.038

摘要

本文采用基于电压-频率变换(V/F)的数字相敏检测技术应用于光学监控信号检测,得到的被检测信号的幅度,即光学监控信号波形.而且针对光学监控系统中被检测信号特点,从理论分析角度说明了本方案抑制被检测信号低次谐波和白噪声的性能.仿真分析中针对加入了2,3,4次谐波和零均值随机白噪声,信噪比为20dB,频率为166Hz的被检测信号,利用本方案检测出光学监控信号反射率最大误差＜0.2%.分别利用本方案检测出的光学监控信号和理想监控信号读取反射率极值点对应薄膜厚度,对比可知采用本方案监控膜厚理论误差＜2nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	赵汝进	西南科技大学信息工程学院	10	40	4.0	6.0
3	何长涛	四川大学电子信息学院	9	39	4.0	6.0
4	姚远程	西南科技大学信息工程学院	103	490	10.0	13.0