油扩散泵抽气速率与被抽气体的关系

• 作者: 李殿东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 油扩散泵 抽气速率 选择性
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: TB752+.42
• 字数: 3451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.005

摘要

通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李殿东		10	69	5.0	8.0