新型集成三维微力检测微夹持器

• 作者: 孙立宁 王家畴 荣伟彬 谢晖 陈伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维微力传感器 压电陶瓷 解耦 微夹持器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 550-556
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.04.018

摘要

提出了一种以压阻检测技术为基础,压电陶瓷为微驱动元件,具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器.采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析,并给出了传感器的标定方法.实验证明,该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求,传感器最大量程为10 mN,X向与Y向的分辨率均为2.4 μN,Z向的分辨率为4.2μN;同时也验证了所设计的微夹持器的合理性和实用性,当压电陶瓷驱动电压取200 V时,微夹持器的张合量达到最大值274 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈伟	哈尔滨工业大学机器人研究所	286	3566	30.0	44.0
2	王家畴	哈尔滨工业大学机器人研究所	10	92	6.0	9.0
3	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
4	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
5	谢晖	哈尔滨工业大学机器人研究所	12	183	8.0	12.0