基于面向服务架构的分布式开放控制系统

• 作者: 徐华 王伟 贾培发 赵雁南
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 面向服务 IC 刻蚀 面向服务架构 控制系统 开放式系统
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TP3
• 字数: 5499字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2007.01.001

摘要

提出了一种基于面向服务架构(SOA)的分布式开放控制系统模型.整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成.各层内部采用面向对象的方法进行设计,各层相对独立,层间的耦合性比较小.服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装,以服务的方式供应用层使用.这种控制系统模型,开放性好,各个模块的可重用性强,开发效率高.使用这种框架,成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统,而且取得了很好的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾培发	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室	38	746	15.0	26.0
2	徐华	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室	39	258	9.0	15.0
3	王伟	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室	169	3463	33.0	52.0
4	赵雁南	清华大学计算机系智能技术与系统国家重点实验室	26	415	11.0	20.0