MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法

• 作者: 戎华 王鸣 黄庆安
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 悬臂梁 吸合电压 平均应力梯度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 311-314
• 页数: 4页
• 分类号: O484.2|O484.5
• 字数: 2916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2007.02.027

摘要

提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣	南京师范大学光电技术江苏省重点实验室	91	636	14.0	20.0