早期热壁卧式LPSIN工艺的优化改进

• 作者: 林丽 缪海滨 陶军
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: LPSIN 颗粒 工艺压力 DCS NH3 NH4Cl
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TN705
• 字数: 2021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2007.12.010

摘要

文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题,详细阐述了颗粒问题产生的原因,包括DCS气体、工艺压力、反应生成物.针对这些颗粒成因提出了相应有效的优化方法,通过实践每一种优化方法都可以降低LPSIN工艺的颗粒,综合所有优化方法有效地降低了LPSIN工艺的颗粒,极大地延长了设备PM的间隔,提高了LPSIN工艺的质量,大幅提高了设备的流片产能,在不对设备硬件做大的改动的情况下使设备的能力得到了大的改进.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林丽		4	13	2.0	3.0
2	缪海滨		2	5	1.0	2.0
3	陶军		2	1	1.0	1.0