一种两用光纤微探针的研制

• 作者: 杨修文 江锐 王安福 祝生祥
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤探针 扫描隧道显微镜 隧道电流
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN253
• 字数: 2214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.01.009

摘要

以普通石英光纤为材料,运用腐蚀-熔拉-腐蚀复合的方法制备出光纤探针;而后在针尖侧面镀上一层数十纳米厚的金属膜,实现导电性与导光性,使其能传导隧道电流和探测近场光,并在实际测量中取得了理想的测试结果.