Mn掺杂对ZnO薄膜结构和光学性质的影响

• 作者: 孙柏 张国斌 徐彭寿 赵朝阳 韦世强
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 脉冲激光淀积 XAFS XPS 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 911-916
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324x.2007.05.027

摘要

利用脉冲激光淀积的方法在Si衬底上生长出了c轴高度取向的ZnO和Zn0.9Mno.1O薄膜.光致发光结果显示了Mn的掺杂引起了薄膜的带边发射蓝移,强度减弱,紫光发射几乎消失,但绿光发射增强.利用X射线衍射,X射线吸收精细结构和X射线光电子能谱等实验技术对Mn掺杂的ZnO薄膜的结构及其对光学性质影响进行了研究.结果表明:Mn掺入到ZnO薄膜中形成了Zn0.9Mn0.1O合金薄膜,Mn以+2价的价态存在,这就导致了掺Mn以后的薄膜带隙变大,在发光谱中表现为带边发射的蓝移.同时由于掺入的Mn与薄膜中的填隙Zn反应,导致薄膜的结晶性变差,薄膜中的填隙Zn减少,O空位增多,引起带边发射和紫光发射减弱,绿光发射增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韦世强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	51	239	7.0	14.0
2	徐彭寿	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	70	488	10.0	19.0
3	张国斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	44	298	10.0	15.0
4	孙柏	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	41	465	13.0	20.0
5	赵朝阳	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	6	106	4.0	6.0