环境扫描电镜中电荷环境的测量

• 作者: 付景永 吉元 张隐奇 徐学东 王丽 田彦宝 韩晓东
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 环境扫描电镜 电荷环境 样品电流
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TB71+7|TB771
• 字数: 2649字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.01.016

摘要

在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP).ISP值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境.法拉第杯的ISP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的ISP反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境.由IsP值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吉元	北京工业大学固体微结构与性能研究所	42	159	7.0	9.0
2	田彦宝	北京工业大学固体微结构与性能研究所	8	26	4.0	4.0
3	付景永	北京工业大学固体微结构与性能研究所	4	16	3.0	4.0
4	张隐奇	北京工业大学固体微结构与性能研究所	24	92	5.0	7.0
5	王丽	北京工业大学固体微结构与性能研究所	133	1374	20.0	33.0
6	徐学东	北京工业大学固体微结构与性能研究所	34	179	7.0	11.0
7	韩晓东	北京工业大学固体微结构与性能研究所	26	84	5.0	7.0