驱动电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造技术

• 作者: 付国柱 孔祥建 廖燕平 杨澍 荆海 马仙梅 马凯 黄霞
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 电子纸 电子墨水 薄膜晶体管 柔性金属基板 激光释放塑基电子技术 激光退火表面释放技术 有机薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 167-175
• 页数: 9页
• 分类号: TN141
• 字数: 6319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2007.02.012

摘要

基于电子墨水技术的电子纸是目前最有竞争力的类纸媒显示器.实现电子墨水电子纸的柔性是这项显示技术的关键之一.文章分析了当前电子墨水电子纸的主要研究方向,详细介绍了基于金属柔性基板的TFT制造技术、基于固定塑料基板的以激光释放塑基电子工艺(EPLaR)为代表的TFT制造技术、以激光退火表面释放技术(SUFTLA)为代表的TFT转移技术以及有机薄膜晶体管(OTFT)技术等4项柔性TFT背板的主要实现方法.对比了它们的材料选取,工艺特点和器件性能,分析了各项柔性TFT背板工艺的优缺点,提出了改进方向.