晶圆复杂制造系统在线优化调度系统研究

• 作者: 郭永辉 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在线优化调度 生产线平衡 Drum-Buffer-Rope理论 分层调度
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 现代管理
• 页码范围: 284-287
• 页数: 4页
• 分类号: TP278
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.04.003

摘要

为更好地实现晶圆企业的绩效指标,与传统半导体生产优化研究方法不同,以生产线平衡为优化目标,提出了一个多重入晶圆复杂制造系统在线优化调度系统(OOSS).该系统融合了生产线平衡思想、Drum-Buffer-Rope思想以及分层调度优化思想,形成一个拉式调度优化系统,并能根据系统状态的变化动态地生成系统仿真模型,保证了仿真结果的有效性.进一步仿真实验表明该系统的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱省三	上海理工大学管理学院	182	2387	26.0	41.0
2	郭永辉	郑州航空工业管理学院工业工程系	55	420	11.0	17.0