ZnO压电薄膜声传感器的有限元分析

• 作者: 曾雄 李重阳 杜晓松 蒋亚东 谢光忠
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 压电薄膜 声传感器 有限元
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 14-15,19
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.08.005

摘要

阐述了ZnO压电薄膜声传感器的结构和工作原理,并用ANSYS9.0对压电薄膜声传感器进行了静态分析、模态分析和谐响应分析.通过静态分析,得到压电薄膜声传感器的灵敏度为16.4 mV/Pa;模态分析得出了传感器的第一阶固有频率为12.379kHz;谐响应分析则获得感应电压与动态外力频率之间的关系.这些分析为此类声传感器的设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓松	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	61	434	12.0	16.0
2	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
3	谢光忠	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	48	408	10.0	18.0
4	曾雄	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
5	李重阳	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	5	1.0	2.0