基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器

• 作者: 王香文 陈玲
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压力 压阻效应 传感器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 10-11,13
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-6941.2007.01.003

摘要

利用单晶硅的压阻效应原理,采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器.该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构,产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验.证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点,可以广泛用于石油、冶金、化工、航空、航天、武器装备等领域压力的测量和控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈玲	中国电子科技集团公司第四十九研究所	6	7	1.0	2.0
2	王香文	中国电子科技集团公司第四十九研究所	1	5	1.0	1.0