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洛阳中硅24对棒多晶硅还原炉装置通过验收
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摘要：
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多晶硅还原炉能耗分析及节能措施
多晶硅
改良西门子法
还原炉
能耗
能量平衡
物料平衡
一种新型多晶硅还原炉流动与传热的数值模拟
多晶硅
还原炉
数值模拟
多晶硅铸锭炉升降机构设计
多晶硅铸锭炉
炉门升降
隔热框升降
波纹管
多晶硅氢化炉变压器的设计
氢化炉变压器
谐波
设计
内容分析
关键词云
关键词热度
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研究主题发展历程
节点文献
还原炉
中国电子报
多晶硅生产
自主知识产权
全自动控制
课题组组长
供料
工程技术
验收意见
停炉
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
总被引数（次）
664
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