磁控溅射Cu膜表面形貌演化的多尺度行为

• 作者: 徐可为 杨吉军
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Cu膜 表面演化 动力学标度 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 页码范围: 903-906
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TB84|O484.5
• 字数: 3665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2007.09.002

摘要

用原子力显微镜(AFM)观察磁控溅射Cu膜的表面形貌,并基于功率谱密度(PSD)和粗糙度测量方法对薄膜进行了量化表征,研究了薄膜表面演化的动力学标度行为.结果表明:薄膜表面演化具有多尺度特征,在全域和局域呈现两种不同的标度行为.全域的粗糙度指数αg≈0.83,生长指数βg≈0.85;而局域的粗糙度指数α1≈0.88,生长指数β1≈0.26.这种差异揭示了薄膜生长机制的尺度依赖性.薄膜全域表面演化为异常标度行为,这归因于体扩散导致了晶粒几何形态的急剧变化;而局域表面演化呈现表面扩散控制的生长行为.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	238	3333	30.0	44.0
2	杨吉军	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	7	93	5.0	7.0