极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用

• 作者: 何小元 陈凡秀
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 化学
• 关键词: 牛顿环法 翘曲度 极值点提取 条纹图
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: O631|O348
• 字数: 3439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2007.09.021

摘要

分析了牛顿环法的测量原理,利用牛顿环法对芯片翘曲度进行了测量.在钠光源照射下,利用CCD摄像机采集芯片和基准面之间的等厚干涉条纹.为快速、准确地计算条纹级数,提出了极值点提取法,该方法能够自动获取灰度曲线极值点的个数以及位置.由灰度曲线的极小值点个数得到暗条纹级数,从而获取芯片相对于基准面的翘曲程度,完成芯片的翘曲度测量.利用该方法对手机屏幕芯片的翘曲度进行了测量,并将测量结果与投影散斑相关测量法所得结果进行分析比较.实验结果表明极值点提取法计算牛顿环条纹级数、实现芯片翘曲度测量的精度和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈凡秀	青岛理工大学理学院	14	89	6.0	9.0