基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

• 作者: 余红华 初本莉 张蜡宝 熊予莹 肖化
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 欧珀 磁控溅射 光子晶体
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1117-1121
• 页数: 5页
• 分类号: O734
• 字数: 3329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.020

摘要

采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖化	华南师范大学物理与电信工程学院	115	924	14.0	27.0
2	熊予莹	华南师范大学物理与电信工程学院	38	421	11.0	19.0
3	张蜡宝	华南师范大学物理与电信工程学院	4	22	3.0	4.0
4	初本莉	华南师范大学物理与电信工程学院	14	54	4.0	7.0
5	余红华	华南师范大学物理与电信工程学院	10	20	3.0	4.0