Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析

• 作者: 杨帆 蒋建清 费维栋 高忠民
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Pb(Zr,Ti)O3薄膜 X射线二维衍射 多晶面探衍射仪 残余应力
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1097-1101
• 页数: 5页
• 分类号: TM22|TN305
• 字数: 3773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2007.07.016

摘要

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨帆	东南大学材料科学与工程学院	84	551	11.0	21.0
3	蒋建清	东南大学材料科学与工程学院	147	1301	17.0	25.0
4	高忠民	吉林大学化学学院	29	160	7.0	11.0
7	费维栋	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	33	169	8.0	11.0