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文献信息
篇名 深硅刻蚀实现3D集成封装
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目 封装与测试
研究方向 页码范围 52-53
页数 2页 分类号
字数 1720字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.04.017
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
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