超精加工表面DIC测量方法研究

• 作者: 杨险峰 蔡少虬
• 来源期刊: 九江学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微分干涉相衬 偏振分光棱镜 相干平面
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 机械电子
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 字数: 1303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4580.2007.06.011

摘要

微分干涉相衬显微技术能够实现对超精加工表面光学方法测量.本文对偏振分光棱镜进行了理论分析,简化了其设计过程,选用了合理的材料,完善了系统结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨险峰	九江学院机械工程学院	16	29	3.0	4.0
2	蔡少虬	九江学院机械工程学院	7	8	2.0	2.0