跟踪式偏振光三角法测头

• 作者: 刘宏昭 赵敏 邱宗明 郭彦珍
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 跟踪 三角法 偏振光 表面面形
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.12.011

摘要

针对三角法测量的不足,设计了一种跟踪式偏振光三角法测头.对三角测量法的理论分析表明减小测量范围能提高测量精度.测头结合表面跟踪方法与三角测量法,跟踪使测量范围不受限制;仅在小范围内进行三角法测量,测量精度大大提高.对金属表面的反射特性进行了分析和推导,得出镜面反射与漫反射具有不同的偏振特性.通过偏振滤光减少了镜面反射光对测量的影响,从而降低了对被测表面材质的要求.本文给出了测头结构和工作原理.试验表明,测头能测量镜面反射较强的金属表面,测头可自动跟踪表面,并可结合测距仪实现表面形状的高精度测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宏昭	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	282	3605	27.0	46.0
2	邱宗明	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	39	251	8.0	14.0
3	郭彦珍	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	12	145	7.0	12.0
4	赵敏	西安理工大学机械与精密仪器工程学院	21	60	5.0	7.0