射频PECVD方法生长含氢非晶碳膜的结构及摩擦学性能

• 作者: 巴德纯 李明 王凤 蔺增
• 来源期刊: 东北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 射频等离子体增强化学气相沉积 含氢非晶碳膜 结构 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 1745-1748
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 字数: 2662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3026.2007.12.019

摘要

利用射频等离子体增强化学气相沉积技术在不锈钢表面制备了含氢非晶碳膜.采用Raman光谱、红外光谱、X射线光电子能谱和原子力显微镜等研究了薄膜的微观结构和表面形貌,在栓盘摩擦磨损试验机上考察了薄膜在不同载荷与滑动速度下的摩擦学性能.结果表明:所制备的含氢非晶碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小;薄膜与不锈钢球对磨时显示出良好的抗磨减摩性能;薄膜的抗磨减摩性能同对磨件表面上形成的转移膜以及摩擦过程中薄膜结构的石墨化相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	蔺增	东北大学机械工程与自动化学院	40	160	7.0	9.0
3	李明	东北大学机械工程与自动化学院	58	365	10.0	16.0
4	王凤	东北大学机械工程与自动化学院	6	40	5.0	6.0