薄层软刻蚀法制备PMMA微图案结构

• 作者: 何平笙 刘建平 杨小敏 杨海洋 石锦霞
• 来源期刊: 高分子学报
• 学科: 化学
• 关键词: 薄层软刻蚀 聚甲基丙烯酸甲酯 微结构
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 3602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3304.2007.01.008

摘要

对现有的软刻蚀方法提出了改进,让其与压印技术及毛细力刻蚀技术相结合形成一种薄层软刻蚀技术,并以这种技术制备出PMMA薄膜微图案化结构.在30 mm/h的拉膜速度以及弹性印章表面图形深度确定不变的情况下,PMMA流体能够完全填充到弹性印章的微通道中,SEM和光学显微镜照片证明得到的PMMA微图案是相互分离的.因此,薄层软刻蚀技术可以克服普通微模塑方法制备分离图形困难和纳米压印技术中需要使用巨大机械压力的缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何平笙	中国科学技术大学高分子科学与工程系	126	1481	21.0	31.0
2	杨海洋	中国科学技术大学高分子科学与工程系	75	686	14.0	21.0
3	刘建平	华东交通大学基础科学学院	43	303	10.0	15.0
4	杨小敏	华东交通大学基础科学学院	34	281	10.0	15.0
5	石锦霞	中国科学技术大学高分子科学与工程系	7	26	4.0	4.0