单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究

• 作者: 崔媛媛 田文杰 鄂然
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多电极石英谐振器 频率-温度特性 表面处理 差频补偿
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器理论及工艺
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.2
• 字数: 1463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.010

摘要

设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-度特性,验证了其频率-度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线.在相同激励及环境条件下,在同一基片上设置多对电极时,各对电极构成的谐振器的频率-温度特性基本相同.根据这种相似特点,将同一基片上不同电极对应的谐振器的振动频率进行差频补偿,可有效地抑制温度对谐振器振动频率的影响.这种谐振器所采用的差频补偿方法可为石英谐振器相关特性的进一步开发利用提供依据.研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(是否抛光)及边沿形状(是否倒边)对其频率-温度特性的影响.实验结果表明,对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理后,谐振器的稳定性得到了有效的改善,性能得到了优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文杰	北京信息工程学院传感器技术研究中心	37	158	6.0	11.0
2	鄂然	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0
3	崔媛媛	北京信息工程学院传感器技术研究中心	5	15	3.0	3.0