正交梁式隧道效应微机械陀螺仪的设计与仿真

• 作者: 刘俊 李锦明 罗源源
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 电子隧道效应 隧道陀螺仪 仿真分析
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 317-320
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.3
• 字数: 2013字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.02.017

摘要

针对传统的角速率陀螺仪存在的缺点与不足,根据电子隧道效应的特点,设计了一种新型基于隧道效应的微机械陀螺仪,运用计算机辅助软件ANSYS对其进行了建模和仿真.把电子隧道原理应用到微机械振动陀螺中对振动位移进行检测,结构简单,功耗低,抗干扰能力强,可靠性好,线性度高,具有很高的灵敏度,尤其在提高微机械振动陀螺的测量精度和灵敏度的方面显示其优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	李锦明	中北大学电子测试技术国家重点实验室	75	469	11.0	16.0
3	罗源源	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	7	2.0	2.0