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铌合金
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柱状晶
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅化物支持先进的栅叠层结构
来源期刊 集成电路应用 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 工艺与制造
研究方向 页码范围 29-33
页数 5页 分类号 TN4
字数 4612字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1674-2583.2007.07.013
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
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15
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