溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

• 作者: 刘红梅 孟丽娜 张辉军 曹茂盛 赵全亮 邱成军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: PZT薄膜 溶胶-凝胶法 各向异性刻蚀 微驱动器 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2007.08.006

摘要

采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题,同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺,解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题,并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征.研究结果表明,采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制,得到的驱动腔硅杯平坦均匀.在V型阀微驱动器整体设计中需要的硅片数目少,降低了器件的复杂性,可以满足低功耗、小型化和批量生产的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张辉军	黑龙江大学集成电路重点实验室	10	50	4.0	6.0
2	邱成军	黑龙江大学集成电路重点实验室	35	231	6.0	14.0
4	曹茂盛	北京理工大学材料科学与工程学院	64	562	14.0	22.0
7	刘红梅	黑龙江大学集成电路重点实验室	12	58	4.0	7.0
8	赵全亮	黑龙江大学集成电路重点实验室	1	4	1.0	1.0
12	孟丽娜	黑龙江大学集成电路重点实验室	2	14	2.0	2.0