电磁式超精密微动工作台研究现状与方向

• 作者: 朱煜 李恒 武晨光 贾松涛
• 来源期刊: 现代机械
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁驱动 超精密微动台 研究现状 研究方向
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论坛及综述
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TH11
• 字数: 2547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6886.2007.02.001

摘要

介绍了电磁式超精密微动工作台的驱动原理,对国内外电磁式微动台的研究现状和应用情况进行了综述,针对目前研究中存在的不足,讨论了电磁式超精密微动台研究的主要内容及方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
2	贾松涛	清华大学精密仪器与机械学系	5	77	4.0	5.0
3	李恒	清华大学精密仪器与机械学系	20	157	7.0	12.0
4	武晨光	清华大学精密仪器与机械学系	2	29	2.0	2.0