电阻率测量技术研究

• 作者: 汪鹏 谢莉莉
• 来源期刊: 高等职业教育－天津职业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻率 四探针法 范德堡法 图像识别 电阻抗成像技术
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 科技开发与服务
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TH30407
• 字数: 2449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-8415.2007.05.028

摘要

通过对测量半导体样品电阻率的四探针法的介绍,详细讨论了常规四探针法、双电测四探针法和范德堡法的测量方法,并给出了相应计算电阻率的公式和直排四探针法厚度修正公式,同时也对图像识别技术和电阻抗成像技术在电阻率测量中的应用进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢莉莉		10	34	3.0	5.0
2	汪鹏		17	26	2.0	4.0