干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响

• 作者: 李军建 李璐 王军 齐童
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: OLED ITO 干冰微粒喷射法 清洗
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 677-681
• 页数: 5页
• 分类号: TN873.3
• 字数: 2564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2007.06.007

摘要

采用干冰微粒喷射法对ITO玻璃表面进行了清洁处理,并与浸泡式低频超声波湿法清洗的ITO玻璃进行了对比测量,结果表明:干冰微粒喷射法处理后,ITO薄膜表面的接触角减小,表面污染物颗粒数量下降,ITO薄膜表面上碳的含量较之未处理时降低了48.5%,锡、铟的含量分别增加了533.33%和267.57%,说明干冰微粒法对ITO薄膜表面的有机污染物和杂质颗粒的清洗效果超过了超声波湿法.此后,制备了干冰微粒法清洗ITO阳极的有机电致发光器件(OLED)器件,以及结构相同但ITO电极是用超声波湿法清洗的OLED器件,对这两种器件的参数进行了测量,其结果表明:干冰微粒喷射法清洗器件的启亮电压、亮度和电流效率与超声波湿法清洗的相比较均有所改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	电子科技大学光电信息学院	115	936	14.0	26.0
2	李璐	电子科技大学光电信息学院	25	175	9.0	11.0
3	李军建	电子科技大学光电信息学院	20	119	6.0	10.0
4	齐童	电子科技大学光电信息学院	2	12	2.0	2.0