钽酸锂薄膜溶胶凝胶制备工艺研究

• 作者: 张德银 张熙 彭卫东 董政
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 LiTaO3 薄膜 溶胶凝胶 退火条件 制备工艺
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TM22+4
• 字数: 3327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2007.10.009

摘要

用溶胶-凝胶法在不同衬底上制备了新的钽酸锂薄膜;研究了环氧树脂掺杂、甩胶转速、衬底效应、热处理温度和气氛等薄膜制备工艺条件对薄膜晶向、表面形貌和介电特性的影响.结果表明:当溶胶浓度为0.1 mol/L,转速为3 000 r/min能制备出均匀、平整、无裂纹的薄膜;控制掺杂环氧树脂在5%左右(质量分数),能提高薄膜与衬底的黏附性;薄膜在氧气气氛下结晶退火,比在氮气气氛下具有更小的介质损耗;n型Si、p型Si和SiO2衬底上钽酸锂薄膜在[012]晶向上具有择优取向性,而Pt衬底上薄膜在[110]、[116]晶向上具有择优取向性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董政	电子科技大学机电学院	10	82	6.0	9.0