改进的飞秒激光加工微型光波导方法

• 作者: 张铁群 朱晓农 杨建军 褚家如 龚小竞
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 垂直式加工 光波导
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 27-32
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|TN252
• 字数: 3047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.01.005

摘要

分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法.在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法.未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1∶1.通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	龚小竞	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	8	37	3.0	6.0