面向IC制造的净化机器人

• 作者: 丛明 于旭 沈宝宏
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 净化机器人 运动学分析 动力学分析 运动控制卡
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 395-400
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 4816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2007.04.012

摘要

针对集成电路制造中环境洁净度与硅片传输任务的需求,提出了一种由径向直线伸缩机构以及旋转、升降运动模块组成的新型三自由度R-θ型净化机器人.该净化机器人采用两组行星轮系组合来实现关键的径向直线伸缩运动,并合理配置密封来实现上述需求.通过运动分析给出了实现径向直线伸缩运动的必要条件,进行了净化机器人的运动学与动力学分析.同时采用交流伺服电机作为驱动元件,基于MPC02运动控制卡作为上位控制单元构建了开放式控制系统.实验研究表明该净化机器人具有较高的速度、重复定位精度与应用洁净度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丛明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	91	1036	16.0	28.0
2	沈宝宏	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	80	3.0	4.0
3	于旭	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	62	2.0	2.0