激光微加工电热微夹钳设计与FEA仿真

• 作者: 严雪萍 刘德林 张慧 徐志春 成立 李俊 韩庆福
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 地球科学
• 关键词: 微夹钳 有限元分析 微电子机械系统 激光微加工技术
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 微/纳工艺、材料与器件
• 页码范围: 727-731
• 页数: 5页
• 分类号: N945.13
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.08.022

摘要

选用厚度为12.5μm的镍箔,采用激光微加工技术制备尺寸为2.8 mm × 1.4 mm ×0.0125 mm的微夹钳.其每一对级联元件由一系列致动单元组成,而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成,其驱动原理是电热效应.运用有限元分析(FEA)仿真了微夹钳的动态性能,对其动态性能进行了实验测试.测试结果表明,当电压为1.9 V时,最大位移量达到28.8μm,延迟时间小于200 ms.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张慧	江苏大学电气与信息工程学院	35	169	7.0	11.0
2	成立	江苏大学电气与信息工程学院	168	1567	21.0	32.0
3	韩庆福	江苏大学电气与信息工程学院	13	119	6.0	10.0
4	严雪萍	江苏大学电气与信息工程学院	12	97	5.0	9.0
5	刘德林	江苏大学电气与信息工程学院	8	68	5.0	8.0
6	徐志春	江苏大学电气与信息工程学院	8	74	5.0	8.0
7	李俊	江苏大学电气与信息工程学院	36	227	9.0	13.0